坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱 工业烘箱
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坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱 工业烘箱

型号
参数
工作电压:380v 工作室尺寸:600*700*800mm 功率:6kw 设备重量:200kg 外形尺寸:1350mm 温度范围:300℃ 材质:不锈钢 供货周期:15天 加工定制:是 温度波动度:1℃
上海隽思实验仪器有限公司

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      上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
     不断追求技术进步、提升专业服务能力,做一个专业的仪器设备供应商是我们的发展目标。企业内部实施了CRM、ERP项目管理,在产品开发、质量控制、集成供应链、人力资源管理、财务管理等诸多方面取得了长足发展。同时建立了标准化的服务流程,形成了覆盖全国的快速服务网络,以尽心尽责的服务理念和完备的技术得到用户的*称赞。我们将珍视每一次与您合做的机会,以饱满的热情、真诚的服务与您共创灿烂的未来!




详细信息

坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱概述
       无尘烤箱​用于高精度硅上薄膜电阻制造过程中坚膜工艺。也用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。
坚膜无尘烤箱特点
1、 烤箱用于半导体车间100级生产线;
2、 设备能够实现对CASETTE内硅片烘烤工艺;
3、 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
4、 开机后墙体内一直处于恒温状态;
5、 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到高精度温度控制;
​6、操做人员放入产品后关门,点击开始按钮即可一键完成菜单工艺,完成后伴有声光提示。

坚膜无尘烤箱,半导体无尘烘箱技术参数
1、 无尘等级:Class 100;     
2、 温度均匀度:±2℃;    
3、 温度波动度:±0.5℃(空载);        
4、 温控精度:±0.1℃;
5、 温度范围:RT+10-200/300℃;
​6、 升温速率:​≥8​℃/min(可修改)​;
​7、 内腔材质:SUS304#镜面不锈钢;
​8、 外箱材质:优质冷轧板喷塑或SUS304#不锈钢;​
​9、 密封条:耐高温氟橡胶密封条;
​10、氮气装置:可调式浮子流量计;
​11、安全装置:漏电保护,超温保护,三色提示灯等。

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产品参数

工作电压 380v
工作室尺寸 600*700*800mm
功率 6kw
设备重量 200kg
外形尺寸 1350mm
温度范围 300℃
材质 不锈钢
供货周期 15天
加工定制
温度波动度 1℃
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