热式气体质量流量控制器报价热式气体质量流量控制器报价（模拟信号） 型号:AC-S030C库号：M317572   查看hh

气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟）

标准状况：温度--293.15K(20℃)

压力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示满量程

型号 AC-S030C

流量规格（氮气） 10SCCM-30SLM

控制量程 2%-100 %

精度 ≤±1.0%F.S

线性 ≤±0.5%F.S

重复性 ≤±0.2%F.S

阀门类型 常闭阀

响应时间 1-3sec

耐压 ≤0-50Bar

通信信号 0-5V/4-20mA

供电方式 15VDC or 24VDC (300mA)

泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He

应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空航天、医药制造业、火电、核电、天*然*气加气站、太阳能、 液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设

备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备等行业的公司

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