产品名称：ENTEGRIS流量控制器InVue6550

产品型号：InVue6550

产品介绍：

Entegris 正在使用创新的流量控制技术解决当今的流量控制挑战。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 专为散装化学品流量控制而设计。 IFC 6550 型设计的流速为 60、90 或 120 L/min，非常适合用于次晶圆厂散装化学品输送应用以及需要高流量的液体处理系统。集成流量控制器采用成熟可靠的差压流量测量技术和的闭环过程控制。 视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断，使用户能够集成更多的过程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型设计用于超纯液体化学品、去离子水和 CMP 浆料应用。 它还设计用于控制气泡产生介质。

ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特点：

●使用成熟可靠的差压流量测量技术和的闭环过程控制

●视觉指示器为预防性维护、故障排除和警报状况提供诊断

●集成压力传感器提供额外的过程信息

●使用气泡产生介质经过验证的测量和控制

●坚固的设计提供稳定性和长期可靠性

●设计为 60、90 或 120 L/min流速

参数：

●工作范围：满量程流量的10–100%

●流量控制精度：满刻度的±1%（使用去离子水在23°C[73°]下校准）

●重复性：满量程的±0.5%

●压力测量输出：0–689 kPa（0-100 psig）

●压力精度：满量程的±1%

●工作压力：

103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分钟，90升/分钟）

172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分钟）

●输出信号：两个4–20 mA电隔离输出，一个用于流量，另一个用于压力

●响应时间：

≥15磅/平方英寸（60升/分钟，90升/分钟）时<3秒

≥25磅/平方英寸（120升/分钟）时<3秒

●非操作超压限值：827 kPa（120 psig）

●工艺温度：10–65°C（50–149°F）

●电气输入：1.2安培时为24 VDC（±10%）

●设定值输入信号：4–20 mA，0–10 VDC

●外壳：IP54

●重量：3.2千克（7磅）

●产地：美国