处理含氟废水的方法和设备主要取决于废水中氟化物的浓度和其他成分的特性。目前，常见含氟废水的处理方法包括：活性炭吸附、离子交换、反渗透、氟化镁沉淀法、生物处理和氧化法等。
其中，氧化法利用氧化剂(如臭氧、双氧水等)可以将废水中的氟化物氧化成无害的离子，对于有机氟废水的处理效果较好。光芬顿作为高级氧化技术的一种，是将光(UV)引入芬顿反应，构建光助芬顿体系。
光芬顿技术有效克服了传统芬顿反应Fe3+和Fe2+循环速率慢、易产生铁泥等不足。同时，加速了传统芬顿的反应效率，提高了有机氟的矿化程度，有效节约了运营成本。
目前UV-Fenton是光芬顿体系中较为成熟且高效的方法，其一方面可以利用紫外线的作用加速有机物的降解，另一方面促进了芬顿反应的进行，实现了氟氧化物的有效去除。
