otsukael静态光散射光度计 积分光度计SLS-6500HL的介绍

除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

• 可在紫外-可见（300 至 800 nm）波长范围内测量椭圆参数

• 能够分析纳米级多层薄膜的膜厚

• 通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱

• 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析

• 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性

• 椭圆参数（tanψ，cosΔ）测量

• 光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析

• 膜厚分析

• 半導体ウェーハ
  ゲート酸化薄膜，窒化膜
  SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
  レジストの光学定数(波長分散)

• 化合物半導体
  AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

• FPD
  配向膜

• 各種新素材
  DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

• 光学薄膜
  TiO2，SiO2，反射防止膜

• リソグラフィー分野
  g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価