石英管式微波等离子体发生装置（普通型，不含安装调试，国产） 型号:HF19SYG

库号：M242973

石英管式微波等离子体装置

是我厂专门为大学和研究机构设计的小型化产品，可用于薄膜材料的制备和等离子体物理等方面的研究工作，并且特别适宜于大中专学校的材料、化学工程与工艺、物理等的学生实验。该装置利用微波能激励稀薄气体放电在石英管中产生稳态等离子体，通过通入不同的工作气体，可进行功能薄膜材料的制备、化学合成、表面刻蚀、等离子体诊断等多方面的实验。

1 主要配置

1. 2.45GHz，0~500W微波功率连续可调，可满足不同实验的要求；
2. ф50mm的石英管真空室，带有一个观察窗和一个诊断窗口，各种实验方便进行；
3. 石英管采用水冷却，可装置在高功率条件下安运行；
4. 配置了3路气体管路，气体流量控制方便；真空测量系统及控制阀门可真空室所需的真空环境。

2 典型实验
1. 等离子体化学气相沉积
A（气）+B（气）→ C（固）+D（气）
反应气体A、B被激发为等离子体状态， 其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜氮化碳薄膜、碳纳米材料等。

2. 等离子体表面刻蚀
A（气）+B（固）→ C（气）
反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C，可用于集成电路的刻蚀实验。

3. 等离子体催化反应
利用等离子体中丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基；高反应性的中性成分，如活性原子，受激原子态，从而引发在常规化学反应中不能或很难实现的化学反应。

4. 等离子体表面改性
A（气）+B（固）→ C（固）
反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面发生反应生成新的化合物从而达到改变B物质表面性质的目的。可用于高分子材料、金属材料及材料的表面改性实验。