DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置

主要技术参数：

◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm；高斯计特斯拉计

◆真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷；

◆真空系统：扩散泵+机械泵+维持泵；

◆TKZM-06智能脉冲控制仪TKZM-08，DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置极限真空：5×10-4Pa；

◆真空测量方式：数显复合真空计、薄膜压力计；

◆TKZM-06智能脉冲控制仪TKZM-08，DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置基片台尺寸：Φ100mm；

◆基片台升降：80～100mm；

◆基片台转速：0～10转/分（可调）；

◆热丝温度：2000℃～2500℃；

◆衬底温度：600℃～1000℃；

◆制膜种类：金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等；

◆工作电源：AC380 V，50Hz；整机功率5KW。电源型式：热丝电源；

◆真空控制方式：手动按钮控制；

◆工艺气体控制方式：4路工艺气体流量控制及显示系统；

◆报警及保护系统：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

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