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     武汉三工光电设备制造有限公司【】产品主要有非晶硅电池生产设备系列；晶硅电池封装设备系列：激光划片机、全自动串焊机、全自动排版 机、电池分选机、组件测试仪、EL缺陷检测仪；动态CO2激光打标机、导光板激光打点机、光纤激光打标机、半导体激光打标机、绿光激光打标机、紫外激光打 标机；激光雕刻机、激光切割机、激光膜切割机；红外激光器、紫外激光器、绿光激光器；激光调阻机、陶瓷激光划片机等30多个品种，广泛应用于太阳能、电 子、灯具、皮革、服装、广告、工艺品、汽车托车、五金制品、工具、量具、刃具、水暖洁具、食品医、科研、印刷雕版、包装、装饰装潢等域。

武汉三工光电设备制造有限公司

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激光划片机的主要用处

激光划片技术是生产集成电路的关键技术，其划线细、精高(线宽为15-25μm，槽深5-200μm)、加工速快(可达200mm/s)，成品率达99.5%以上。集成电路生产过程中，在一块基片上要制备上千个电路，在封装前要把它们分割成单个管芯。传统的方法是用金刚石砂轮切割，硅片表面因受机械力而产生辐射状裂纹。用激光划线技术进行划片，把激光束聚焦在硅片表面，产生高温使材料汽化而形成沟槽。
通过调节脉冲重叠量可精确控制刻槽深，使硅片很容易沿沟槽整齐断开，也可进行多次割划而直接切开。由于激光被聚焦成极小的光斑，热影响区极小，切划50μm深的沟槽时，在沟槽边25μm的地方温升不会影响有源器件的性能。激光划片是非接触加工，硅片不会受机械力而产生裂纹。因此可以达到提高硅片利用率、成品率高和切割质量好的目的。还可用于单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池的划片以及硅、锗、砷化稼和其他半导体衬底材料的划片与切割。

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