纳米位移平台 >> CUBE3 3轴纳米位移平台 产品编号:1098482816产品名称:CUBE3 3轴纳米位移平台规 格:产品备注:产品类别:纳米位移平台 产 品 说 明 CUBE3.100CUBE3.200运动范围XYZ(μm)100200分辨率XYZ(nm)0,10,2典型的噪声基准XYZ(nm)0,010,02*的重复性XYZ(nm)0,20,4线性化(典型的)0,02%0,02%谐振频率X / Y / Z(赫兹)200/200/500200/200/500刚度 X/Y/Z (N/μm)0,3/0,3/0,60,3/0,3/0,6zui大负载(kg)-水平使用0,50,5zui大负载(kg)-垂直使用0,10,1传感器Silicon HR sensorSilicon HR sensor尺寸W x L x H (mm)63,5 x 63,5 x 52,4563,5 x 63,5 x 52,45材料AlAl电缆长度(m)22*控制器StandardStandard产品 >> 纳米位移平台 >> 所有小类 共有 13 个产品名称:CUBE3 3轴纳米位移平台名称:LFHS3 3轴纳米位移平台名称:LT3 3轴纳米位移平台名称:BIO3 3轴纳米位移平台名称:TT2 角度调节纳米位移平台名称:LTHS2 2轴纳米位移平台名称:LFHS2 双轴纳米位移平台名称:LT2 2轴纳米位移平台名称:BIO2 XY双轴纳米位移平台