Tetra-100-LF型 等离子清洗/刻蚀机

l  真空舱体 W400 mm × H400 mm × D625 mm （100 升）
外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm

l  * 分层（zui多到10层） 电极-托盘
* 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 双气路，针阀
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体
* 规格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm
* 电源：AC 380V/50Hz

l  选装件
* 13.56 MHz 射频发生器   * 2.45 GHz 射频发生器  * 旋转圆筒舱体（适用于处理颗粒状样品）

l  配件选装指南

·  13.56MHz射频发生器    ·  2.45GHz射频发生器    ·  半自动控制系统    ·  全自动控制系统- 操作轻松简便的控制系统

·  计算机（PC）控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程    ·  附加气体通路    ·  自动真空舱门   ·  设备自动门

·  条码阅读器    ·  偏压测量系统    ·  碟型阀    ·  排气过滤系统    ·  适用于腐蚀性气体系统    ·  舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸

·  粉末处理装置    ·  法拉第容器    ·  气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体    ·  玻璃舱体（硅酸盐或石英）

·  预热板    ·  等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中    ·  真空泵抽气入口过滤器    ·  标签打印机    ·  标签阅读机

·  加深舱体    ·  单体瓶- 轻松的控制不稳定的液体含量    ·  网络连接系统    ·  聚合处理附件    ·  气瓶出气减压阀    ·  石英玻璃皿

·  卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等    ·  RIE电极（适用于刻蚀）     ·  旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理

·  安全阀

·  服务条约- 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…

·  附加的配件

·  特殊的电极和托盘

·  特殊法兰/附加法兰

·  特殊软件

·  特殊真空舱体

·  过程温度测量

·  测试墨水（用于测试表面接触角）      ·  真空泵系统