- 面议
起订量：
CPS-XXX-CF 低温探针台
- 型号
- CPS-XXX-CF
该企业相似产品
First-Nano System GmbH
2003年 创立于德国德累斯顿工业大学（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司
2015年 上海成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司中国代表处，负责中国区业务
2018年 深圳正式成立韦氏纳米系统（深圳）有限公司，更好的为中国南方区市场
产品范围：
薄膜沉积/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
详细信息
低温探针台CPS-xxx-CF系列是一款成本低、稳定、可靠和方便的低温半导体测试甚至低温晶圆级别测试器件的低温探针台系统。内置振动隔离，智能热管理和工程热膨胀补偿使低温探针台系统非常适合于宽范围从纳米电子学应用（石墨烯的研究，分子电子学，量子计算等）以空间为基础的电子测试。
规格：
试样尺寸：25、50mm、100mm、150mm或200mm可选
无冷闭式循环制冷机（S）：包括冷头、压缩机、制冷机和所需的氦气软管。
温度范围：标准10K～400K，4.2K到480k可供选择
温度精度：0.1k或更好
热探针臂和辐射屏蔽
卡盘和探针臂的温度监测
辐射屏蔽和cryohead温度监测是可选的。
真空压力
窗口材料：熔融石英，定制的材料和涂料是可用的。
相机：数码相机从1像素到10像素。图像和视频采集软件以及尺寸测量能力
