洁净室设备(Clean Room)，亦称无尘车间洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的和国内区域行业标准，一些净化工程公司，在通行标准之外，洁净室设备还设有自身执行的高于化通行标准的净化指标，净化能力和环境适应力远超品牌。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了无尘标准的*。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于*，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。