国华GH-216等离子体表面清洗系统标准配置表

机台名称

昆山国华等离子清洗设备PCB层压处理

机台型号

GH-216

机台用途

5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺，柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理，SMT前清洗等

技术参数

备注

1

机台整机规格

1450mm(W)×1720mm(H)×1300 mm(D)

2

真空室规格

进口铝进口铝 600(W)×600(H)×600(D))mm

3

电极板规格

进口铝 582(W)×500D)mm

4

单层有效处理区尺寸

530(W)× 450D)mm

5

真空电极结构

水平电极板10层, 处理9层工件

极板间距/上极板到托架

51mm/32.5mm

6

真空泵系统

真空泵组韩国优成

7

PLC自动控制系统硬件

OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制）

日本欧姆龙/西门子

8

人机工控系统

触摸屏式全中文界面

9

温度控制系统

OMRON/SIEMENS温度传感模块，PID闭环控制，温度可控

10

真空测定系统

皮拉尼电阻式真空计

日本爱发科

11

真空供气系统

Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路

进口优质不锈钢

12

真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管

进口优质不锈钢

13

破真空系统

倒计时自动开合启动

14

气体控制系统

电磁阀控制

日本CKD

15

气体计量系统

2路精确质量流量控制计：MFC

SevenStar

16

等离子发生器

额定功率：0-1000W，射频全自动匹配（国华自主研发）

17

其他组件

国内外元器件

18

机台总重

约600kg

19

额定功率

额定功率 4.5KW

20

机台供电

 AC-380V-50Hz，三相五线

21

单次处理时间

10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）

22

工作真空度

0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度）

23

真空泵极限压力

5pa以下

24

抽真空时间

抽到工作真空≤180秒

25

破真空时间

≤60秒

26

供气方式

电磁阀式

27

流量计调节范围

2路独立MFC  0-500sccm（毫升/分钟）,      

28

操作方式

人工取放工件，一键启动自动控制