XPR3L 气体分析仪

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XPR3L 气体分析仪

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杭州太昊科技有限公司

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是INFICON的*代理商,同时代理经销德国Leybold(莱宝)、Atlas Copco(阿*.科普柯)、Varian/Agilent(瓦里安/安捷伦)、瑞士Vogtlin(福特林)等品牌产品。我们致力于*真空技术的推广、应用,从中低真空、高真空、到超高真空,我们可以根据客户的要求**合适的真空产品,提供*上等的真空解决方案,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术和支持。同时为满足更广大的客户要求,我们拓展了工业流量控制的产品服务,根据客户的工艺要求提供*优化的流量控制解决方案。

   

目前,公司主要提供的业务有:

一、代理品牌的产品销售,及技术和支持服务。

二、为客户提供上等的真空解决方案,包括:真空非标系统设计、真空检漏技术方案、真空设备维修服务;

三、流量控制解决方案:气体、液体、特殊物质流量控制方案;  

 

     我们的业务覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、空调制冷、 科研、航天、LNG、汽车制造、医疗化工等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓**”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提 供更好的真空技术和支持和更加完善的售后服务。  

    我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!

详细信息

XPR3L 气体分析仪用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于*大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染,提高预防性维护程序的有效性和效率。

XPR3L 气体分析仪功能

  • 通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV,提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证
  • 经济高效的过程监控器,可用于可扩展的生产设计
  • 通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质,提高过程良率,减少碎片,提高产品质量
  • 通过以高灵敏度和*小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染,加快 PM 恢复,提高生产力
  • 可在 1 - 100 amu 质量范围内运行,能够检测各种材料、污染或副产品,确保您的投资安全,降低投资风险
  • 与 FabGuard 监控和分析系统相兼容,提供可靠、*的诊断和过程控制

典型应用

  • 太阳能/光伏设备制造
  • LCD 制造
  • PVD 过程监控
  • 监控过程气体压力和气体比率
  • 暴露和鉴别污染
  • 检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽)
  • PM 恢复/故障排除和验证基本真空

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