μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。 
      
    便携式共聚焦显微镜一个特殊改装的固定工作台可以承载大体积高重量的测试物体，结合一个可以自由移动的滚轮式工作台，μsurf 移动式3D测量系统可以轻易的传输并且设置在任意一个地方进行使用。μsurf 特别为大体积样品的测量而开发。例如，轧辊和车身。由于其便携性，它非常适用于工厂的在线检查。μsurf 移动式3D测量系统只需几分钟准备便可进行测量，并且可以方便地架设在测试对象上--因为它的重量只有5公斤。根据不同测量要求可以编辑不同的应用方案。配有鼻轮和专业解决方案软件的μsurf 移动式3D测量系统可满足了各种各样的测量任务。 

便携式共聚焦显微镜技术参数 
    LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
    测量时间：5~10秒 
    测量原理：非接触、共聚焦、可移动，可以检测大型的物体 
    X/Y方向移动范围：50mmX50mm，马达驱动，X/Y方向分辨率：0.3μm 
    Z方向移动范围：35mm 
    Z方向测量范围：250μm，Z方向分辨率：< 10nm 
    物镜：10X、20X、50X、100X(可选) 
    计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且全面的软件，有拼接功能