溅射薄膜压力传感器
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溅射薄膜压力传感器

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传感器

昆山双桥传感器测控技术有限公司是中科院昆山高科技产业园、国家火炬计划昆山传感器产业基地核心骨干企业,成立于2001年,注册资产600万元,现总资产近1320万元。公司以MEMS压阻压力传感器为主导产品,兼及其它相关传感器、变送器,自控仪表及系统的开发、生产与销售。

公司2002年评为江苏省*,2008昆山市*33家通过复审的*。公司2002年通过ISO9001:2000标准质量管理体系的认证,公司先后被评为苏州市民营企业、全国民营科技企业创新奖、江苏省质量信得过企业、昆山市科技研发中心、昆山市的*;先后获得国家技术发明二等奖、国家发明专优奖、*科技进步一等奖、中国仪器仪表学会科技成果奖、石油化工协会科技发明二等奖、中国电子学会电子信息科学技术三等奖,苏州市科技发明二等奖、苏州市科技进步三等奖,苏州市优专奖、苏州市产品等荣誉十余项。

详细信息

溅射薄膜压力传感器采用特殊处理坚固的膜片,*的力学结构传递结构设计被测介质中坚硬的沙粒不会损坏隔离平膜片,结构紧凑,耐腐蚀,抗震动,抗坚硬沙粒冲击,宽范围温度补偿,主要应用于各种工程设备、隧道盾构机械,制砖机械,泥浆,液体压力,石油勘探及水利河坝等泥浆的测量。

溅射薄膜压力传感器

其中的差压敏感元件采用一体化结构,耐静压值高,坚固、可靠。高、低压端均采用隔离膜片保护,因此,两个压腔均可接触具有一定腐蚀性和导电性的流体介质,被测差压通过隔离膜片和充灌的硅油传递到硅压敏元件上,实现了差压的精确测量。敏感芯片采用美国生产的高精度和高稳定性的扩散硅压阻式压力敏感芯片。产品经美国MAXIM公司的传感器芯片1452进行计算机线性校正和温度补偿,具有高可靠性。

采用双列直插封装结构。通过激光修正电阻实现大范围的温度补偿,以及调节差动放大器的增益来校正传感器的压力灵敏度变化。应用于医疗仪器,海拔高度和空速,过程控制,工厂自动化,真空检测,手持校正仪,检漏,睡眠窒息监测,*/呼吸器,风道流量等方面。

◆技术参数
程: 0-1,-10,-50,-100KPa, -100KPa,-50KPa0,综合精度:0.1%FS0.2%FS0.5%FS
输出信号: 420mA(二线制)05V15V010V(三线制
供电电压: 24DCV(936DCV) 介质温度: -2085 环境温度:常温(-2085
负载电阻: 电流输出型:大800Ω;电压输出型:大于50KΩ 
绝缘电阻:大于2000MΩ/50VDC 响应时间:<1ms密封等级: IP65 *稳定性能: 0.1%FS/ 
振动影响:在机械振动频率20Hz1000Hz内,输出变化小于0.1%FS 

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