射频(RF)等离子清洗机

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射频(RF)等离子清洗机

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赛奥特(北京)科技有限公司

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清洗机

赛奥特(北京)科技有限公司总部设在中国北京,是一家专业的生产 研发 销售 为一体的*,以研发 生产 销售等离子清洗系统为主,其前身为唐山燕赵研究院,由于业务的发展需要,自2014年08月01日全面接管唐山燕赵研究的等离子清系统的研发 生产和销售。 自成立以来在广大用户的帮助与支持下,经不懈努力已成为中国材料学 电子 半导体 LED等领域的专业供应商,其产品遍布全国的各个高校研究所 企业等,是等离子体领域产品的主要供应商之一,本公司希望为您提供更好的产品,更多的便利及更专业的服务,为您的成功铺桥搭路,也为中国的科学事业赶超*水平一己之力! 我们拥有一支朝气蓬勃,团结互助的专业技术队伍,完善的售后服务体系,专业的安装人员和专门的售后服务跟踪人员,深得广大客户的赞许。 我公司本着“人性化”的原则,专业设计、严格的生产、精确的安装及完善的售后服务,这已成为赛奥特在本行业中的骄傲。 本公司将继续秉承“质量一,客户*,诚信合作”的宗旨,热忱欢迎新老用户及各界同仁惠顾。 赛奥特(北京)光电技术有限公司愿为您的事业付出努力,希望与各界客商携手走向成功! 质量为先,信誉为重,管理为本,服务为诚。

详细信息

射频(RF)等离子清洗机技术特点:

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。

2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠,具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。

9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式,操作方便稳定可靠。

射频(RF)等离子清洗机技术规格参数

型号:YZD08-2C

品牌:赛奥特(SAT)

不锈钢/石英舱体

Φ100 mm×L255mm

工作气路

壹路,可以选配MFC控制

射频频率

40KHz

射频功率

0-200W可调

控制系统

按钮+单排LED显示,实时显示和检测舱内真空度值

时间范围

0—99分59秒连续可调

工作压力

样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节

工作气体

空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可

进气压力

空气:常压     连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa

工作模式

手动模式和程序化自动模式

真空泵

抽速:1升到5升每秒

输入电源

~220V/50Hz

整机尺寸(D*W*H)

520X460X253mm

重量(约)

20Kg

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