双级旋片泵

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上海皓越电炉技术有限公司

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真空炉

上海皓越电炉技术有限公司(简称 皓越科技 )是一家集 研发 、 生产 、 销售 电炉为一体的*。公司地处中国经济和科技中心上海,已拥有大型现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇萃了一批*从事热处理炉、真空炉及特种炉制造和服务的技术精英,其中,研究生、本科以上学历的工程技术人员26人,技术工人65余人的精英团队,具备年产200套热处理炉、60套大型真空炉的生产能力。并与上海复旦大学、上海同济大学建立了*友好的科技合作与人才培养基地。

公司一直专注于 半导体材料 、 碳材料 、 *陶瓷及复合材料 和 锂电材料 四大领域,积累了丰富的行业经验和技术,竭诚服务于客户,提供完善的一体化产业解决方案。

在半导体材料领域,皓越科技致力为客户提供晶体生长设备和高温退火设备,适用于蓝宝石、碳化硅、氮化镓和氮化铝晶体的生长和退火。还推出氧化/扩散炉、LPCVD/PECVD等薄膜生长掺杂设备以及晶圆快速热处理RTP设备。

在碳材料领域,皓越科技拥有*石墨烯、碳纳米管的CVD及PECVD成套生长系统,并提供金刚石工具生产用真空炉和热压炉,以及碳材料用高温石墨化炉等。

在锂电材料领域,我们为客户提供连续正极材料生产窑炉,有辊道窑、推板窑等,以及用于负极材料生产用真空炉等。

在陶瓷基复合材料领域,拥有碳化硅陶瓷的无压烧结、反应烧结和重结晶烧结设备,氮化硅粉体合成炉以及陶瓷制品烧结炉,碳化硼陶瓷热压烧结炉等。

上海皓越电炉技术有限公司所提供的产品技术*,质量可靠,品种齐全。公司成立以来在市场上巳获得用户认可,其产品质量及服务得到用户的肯定,我们的优势不仅体现在高精度的温度控制领域,更多的是我们在工艺、真空,自动化控制及计算机温度分析系统有杰出的专业人才。

详细信息

一、产品介绍:

1 、整体式缸体结构

VRD 系列产品采用整体式缸体结构 , 从结构上保证缸体的精度和变形对真空泵的影响 , 同时采用顶面切点圆弧设计 , 使产品的极限真空稳定。

 

2 、内置油泵循环强制进油系统

VRD 系列产品采用内置油泵循环强制进油系统 , 对泵腔进行强制润滑 , 因此可以在入口压强为大气压的情况下效长时间工作。

 

3 、自动防返油阀结构

VRD 系列产品采用自动防返油阀结构 , 可在停泵时自动切断被抽系统 , 保证系统的真空及不被污染。

 

4 双级旋片泵可调节气镇设计

 VRD 系列产品装有可调节气镇,保证*的耐水蒸汽能力,有效排除可凝性气体。

 

二、双级旋片泵技术参数:

 

技术名称

规格型号

VRD-8

VRD-16

抽   速  m ³ /h ( L/s )

50Hz

8 m ³ /h

16 m ³ /h

2.2 L/s

4.4 L/s

60Hz

9.6 m ³ /h

19.2 m ³ /h

2.6 L/s

5.2 L/s

极限分压强 - 无气镇( Pa )

5x10-2

4x10-2

极限总压强 - 无气镇( Pa )

5x10-1

4x10-1

极限总压强 - 有气镇( Pa )

3

8x10-1

电   源

单相 / 三相

电机功率( KW )

0.4 KW/0.37 KW

0.75 KW/0.55 KW

进排气连接口 DN

KF16/25

KF25

用油量

0.6-1 L

0.9-1.5 L

电机转速( rpm )

50Hz

1440 rpm

60Hz

1720 rpm

工作环境温度

5-40 ℃

噪音 (dB)

≤ 56

≤ 58

重量( kg )

21kg

30kg

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