Agilent 7500 ICP-MS电感耦合等离子体质谱－ICP-MS，是一种新型的无机元素和同位素分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素。ICP-MS技术在分析能力上，超过传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术(ICPAES)、石墨炉原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技术(CVAAS)的总和，被称为当代分析技术激动人心的发展。

近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。

电感耦合等离子体质谱产品参数：

● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素

● 低的检出限（低至ppq级）

● 分析效益/成本比好

● 宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度

● 谱线简单、干扰小，准确度和精密度好

● 需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）

● 检测模式灵活多样

半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：

固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等

液体：超纯水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等

气体：SiH4;TE0S;NF3;N2等

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

● 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是一的分析方法。

● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

● 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等

● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性*的清洗剂——丙酮、甲醇等。