SGC-10薄膜测厚仪，适用于介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪，是我公司与美国new-span公司*的薄膜测厚技术，基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数（折射率k）。通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱，用软件来拟合运算，得到单层或多层膜系各层的厚度n，消光系数强大的软件功能：

该仪器适用于多种介质，半导体，薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。

典型的薄膜材料为：

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

技术指标：

名称

参数

厚度范围

20nm-50um（只测膜厚），

100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k）

根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。

准确性

<1nm或<0.5%

重复性

0.1nm

波长范围

380nm-1000nm

可测层数

1-4层

样品尺寸

样品镀膜区直径>1.2mm

测量速度

5s-60s

光斑直径

1.2mm-10mm可调

样品台

290mm*160mm

光源

长寿命溴钨灯（2000h）

光纤

纯石英宽光谱光纤

探测器

进口光纤光谱仪

电源

AC100V-240V，50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm