晶圆容积70L无尘无氧箱SECSGEM系统烘箱

普遍应用于航天、石油、化工、军事、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

主要特点：箱体选用全陶瓷纤维保温，具有升温快、节能等特点，优良的送风、排风系统，确保炉箱温度均匀，吸风口玻纤过滤器，确保洁净度的要求。

一、无尘烘箱特点：

1.采用智能控制系统,可对接MES系统数据采集需求，操作方便！

2.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；

3.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；

4.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免

烘烤时产生PARTICLE；

5.美国进口H.E.P.A 装置，过滤效率99.99%，Class 100,

6.完善的保护措施，漏电断路器/超温保护/欠相保护/马达过载电流保护/机台异常蜂鸣器

安全可靠！

二、产品主要技术参数： 

1.电源：AC380V 3φ 50Hz

2.无尘等级：Class 100；

3.温度范围： 常温+60～250℃；

4.温度均匀度：±1.5% （空载）

5.升温速度：>5℃/min ，升温斜率可控，升温速度可以通过加热系统控制调节。

6.降温：风冷夹层降温，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟。

7.电磁锁：启动设备运行中，电磁门锁锁门，运行未结束，人工不能开门。

三、*可靠的测控系统

温控装置：智能控制系统,欧姆龙PLC+PC工控（可联网，对接MES及SECSGEM）

          程式编辑：可预编120个程式，每个程式可编99段，共1200段

          历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

          六点温度记录

四、规格尺寸多种可选(也可根据客户尺寸定制）

晶圆容积70L无尘无氧箱SECSGEM系统烘箱