Mecwins 

SCALA扫描式激光分析仪是模块式的。包括一个光学扫描器，安装于温度湿度都可控的腔室里。基本配置可实现二维轮廓的静态特征，及通过热噪声和单点测量来确定的谐振频率。除了基本配置，SCALA还可配备如下三个工作模块：

动态模块

动态模块可以测量任何振动器件的全谱响应，无论是依靠热激励或者是外力激励（压电驱动）。SCALA同时能提供机械振动的实时成像。如:机械传感器的动态特性可以用一个简单且用户友好的方式测得。

液体测量模块

SCALA 可以静态或者动态地表征处于液体环境中的MEMS传感器。测量腔的大小可根据用户要求定制。PEEK液体样品池设有液体进口和出口可以通过您选择的外部传输系统实现液体的流动

(3D)三维成像模块

利用激光扫描功能，可测量反射率和在z轴方向亚纳米精度的三维表面形貌图。

Mecwins 扫描式激光分析仪特点： 

静态和动态都可测量
非接触式测量，可测液体环境下的物质，且静态和动态都可测量
不需要特别的反射率，对于几乎透明的材料都能获得很好的测量结果，如SU8胶。
可专门针对研究纳米机械传感器，如悬臂梁，桥，薄膜等
无需聚焦得到图像，可测不平度比较大的表面。
基于Labview的用户友好性软件
基于反射强度模式识别算法的TRACKER技术让表征变得简单

与AMF对比：

Z方向与AFM一样，都能获得亚纳米分辨率

在水平方向的分辨率不如AFM，SCALA只能达到微米分辨率，但可测大面积样片

与轮廓仪对比：

轮廓仪测不了动态特性及液体环境，且它需要高反射率。

与白光干涉仪对比：

白光干涉仪测量快，分辨率高，但得不到动态特性，当样品表面不平度比较大时，白光干涉仪无法聚焦。SCALA无需聚焦，可测大面积样片。