M6 实验室匀胶旋涂仪
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迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，公司网址为 。 作为工业实验室市场领域的，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助客户和合作伙伴取得成功。 迈可诺成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
主营产品：匀胶机，旋涂仪，甩胶台，匀胶台，涂层机，涂胶机，涂膜机,旋转涂敷仪, HPC,PPC, PAC，SCE系列等离子清洗机， Cargille光学试剂，光刻机/曝光机，压力机, 压片机, 热压机，WABASH热压机, CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOT PLATE热板 烤胶机
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Carver手动压片机
Uvitron紫外固化箱
Novascan紫外臭氧清洗机
Wenesco/EMS/Unitemp加热板
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统，湿站系统
NXQ光刻机
Anatech等离子系统
Wabash/Carver自动压片机
详细信息
实验室匀胶旋涂仪
技术参数
▲1.保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护（可选择取消）；
2.支持Wafer尺寸：小标配为10 mm，可选配到3mm或5mm；大到直径6英寸（150mm）的圆片或边长5x5英寸（125x125mm）的方片，无需更换片托；
3.设备材质：全部采用易清洁的NPP天然聚丙烯材质，环保，抗震，耐腐蚀；
▲4.无刷马达：直流双向旋转，正反旋转速度±100~±12000rpm，稳定性能误差±1rpm；
5.马达安全模式：可设置非真空模式，转速3000rpm，加速度500rpm/s；
6.加速度可控范围：100-30000RPM/S；
7.工艺时间：每步可以设定45小时，精度不超过0.1秒；
8. PLC控制：4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器；
9.程序段：可存储99个程序段，每个程序段可设置50个不同步骤的速度状态；
10.无油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节；
11.扩展功能：可升级预留端口，可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项。
实验室匀胶旋涂仪设备性能特点
马达控制：无刷直流双向旋转；
智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩触屏，配有智能触碰笔，按键有提示音，功能有颜色区分，适用于手套箱；
腔体材质：易清洁的NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性；
模式切换：可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图；
防止堵胶：双真空腔设计；
预留端口：可升级扩展其他多种选配项；
密码功能：设有开机密码和管理员密码，管理员有权限修改核心参数；
安全报警：系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警，通过声音和界面对话框提示；
气流保护：旋涂过程中对马达进行气流保护（也可选择取消），易维护，易清洁，大幅提高马达使用寿命；
四、应用领域
- 半导体芯片制造
- 钙钛矿太阳能电池制备
- 微纳和微流控
- 纳米薄膜
- 高分子材料
- 有机光伏
- 有机发光二极管
- 有机场效应晶体管&薄膜晶体管
- 石墨烯&二维材料
