台阶仪（探针式表面轮廓仪）

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 [1] 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

台阶仪（探针式表面轮廓仪）

规格

测量技术 探针轮廓技术

测量功能 二维表面轮廓测量

可选三维测量/

样品视景 可选放大倍率, 1 to 4mm FOV

探针传感器 低惯量传感器 （LIS 3）

探针压力 使用LIS 3传感器：1 至 15mg

低作用力（选配） 使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至 15mg

探针选项 探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm

高径比 （HAR）针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客户要求定制针尖

样品X/Y载物台 手动 X-Y 平移：100mm （4 英寸）

机动X-Y 平移：150mm （6 英寸）

样品旋转台 手动，360°旋转;

机动：360°旋转;

计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板显示器

软件 Vision64操作及分析软件；

应力测量软件；悬臂偏转；

缝合软件；三维扫描成像软件

减震装置 减震装置可用

扫描长度范围 55mm （2英寸）

每次扫描数据点 *多可达120,000数据点

样品厚度 50mm （2英寸） 晶圆尺寸 200mm （8英寸）

台阶高度重现性 <5Å, 1σ在1μm台阶上

垂直范围 1mm （0.039英寸）

垂直分辨率 1Å （ 6.55μm垂直范围下） 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

温度范围 运行范围20 到 25°C （68到77°F）

湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝

系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;