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高低温真空探针台
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详细信息
高低温真空探针台
产品概述：
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
高低温真空探针台
应用范围：
高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。
可选附件：
þ 防震桌
þ 多级压缩制冷机
þ 机械泵/分子泵组/离子泵
þ 射频部件
þ 各类型频率真空接头
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
þ 各类探针夹具
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
技术指标：
型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 | |
真空度 | 高真空10-8Pa | |
真空腔观察窗尺寸 | 2inch（可选） | |
控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 | |
温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 | |
降温时间 | 40min | 150min内，视制冷机功率定 |
温度传感器 | 硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个） | |
加热电源 | LVDC 低压直流 | |
样品台材质 | 镀金无氧铜 | |
样品台尺寸 | 直径20-50mm，可选100mm | |
样品台平整度 | ≤7μm | |
样品台固定方式 | 固定的样品台（可升级随位移台移动） | |
样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm（三级减震） |
探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 | |
探针臂机械精度 |
| |
探针种类 | 钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针） | |
探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 | |
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | |
显微镜行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm | |
电力需求 | 220V 50-60Hz | |
±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）
应用范围：
磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等
可选附件：
þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
þ CCD或C-MOS视频成像装置
þ Chuck运动装置
þ 电磁铁系统/超导磁铁系统
þ 1Mpa正压系统升级
þ 超高温升级选件
þ 超高真空升级选件
þ 各类探针夹具
