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日本dip评估装置(膜厚计)AFW-100W
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日本dip评估装置(膜厚计)AFW-100W
日本dip评估装置(膜厚计)AFW-100W
建议将反射光谱膜厚计用于硬涂层等膜厚测量应用。
[机理]当
用光照射样品时,取决于膜的厚度,它显示出*的光谱。膜表面上反射的光与穿过膜并在基板表面上反射的光相互干扰。当光的相位匹配时,强度增加,而当光的相位偏移时,强度降低。反射法是通过分析该光谱来测量膜厚的方法。
[优点]-
与SEM和测针型轮廓仪不同,无需接触即可进行测量。
-与椭偏仪相比,价格低廉且易于使用。
将来也可以将其安装在量产设备中。
模型 | AFW-100W |
---|---|
用 | 一般膜厚 |
设备配置 | 单元本体,测量架,2分支光纤(1.5m),PC |
测量波长范围 | 380-1050纳米 |
膜厚测量范围 | 100nm〜1μm(曲线拟合法) |
1μm至60μm(FFT) | |
测量重现性 | 0.2%-1%(取决于胶片质量) |
测量光斑直径 | 约7mm |
光源 | 12V-50W卤素灯 |
测量理论 | 曲线拟合法/ FFT法 |
外形尺寸(mm) | 尺寸支架:W150 x D150 x H115 |
机身:W230 x D230 x H135 | |
大概重量 | 5.5kg *不包括PC |
公用事业 | AC100V 50/60赫兹 |
轰天猛将 | 卤素灯 |
从传感器正下方的深度尺寸(黄色箭头):
可以测量126毫米8英寸晶圆。
通过使用显微镜,可以测量过去无法测量的具有不规则性的电子元件和曲面透镜。
名称 | 显微分光膜测厚仪 |
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设备配置 | 显微镜,机身,光纤(1m),PC |
显微镜 | 奥林巴斯金相显微镜 |
测量波长范围 | 380-700纳米 |
膜厚测量范围 | 50nm-1.5μm(C / F) |
1.5μm至50μm(FFT) | |
测量重现性 | 0.2%-1%(取决于胶片质量) |
测量光斑直径 | Φ6μm至Φ120μm |
光源 | 12V-100W卤素灯 |
测量理论 | 曲线拟合法/ FFT法 |
外形尺寸(mm) | 显微镜:W317.5 x D602 x H480 |
机身:W230 x D230 x H135 | |
大概重量 | 25kg *不包括PC |
公用事业 | AC100V 50/60赫兹 |
轰天猛将 | 卤素灯 |