【产品简介】
D9650是现代超声波显微镜(AM)的标准,和上一代产品一样提供了较好的精度和稳健性,增加了一个合并 了PolyGateTM 技术和SonolyticsTM的改进型的电子与软件平台。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特 性描述及低容量生产环境。
【主要特点】
·带有Multi-GateTM 及Probing-GateTM 功能的PolyGateTM 技术,可以进行单一及多层自动聚焦成像
·每频道多达100个GatesTM
·Windows 10 @Sonolytics 2TM界面,64字节处理能力
·线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘,带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架,更加精准
·方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便,可以扫描JEDEC 托盘或300mm晶圆片
·定量的B-Scan是Sonoscan的分析模式(Q-BAM),B-Scan模式提供了虚拟横截面视图,并带有准确的极性、幅值和深度数据