Bruker ContourGT-K 白光干涉仪

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Bruker ContourGT-K 白光干涉仪

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亚科电子(包括亚科电子(香港)有限公司、北京亚科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、*封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。  目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供*的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。   亚科电子目前客户遍及国内所有科研院所、高校和研发制造企业,已成功地服等各研究所;清华大学、北京大学、复旦大学等各大高校;三安集成、华润微电子等多个制造企业。   亚科电子历年来秉承“专业服务,全面服务”的宗旨,为客户提供整套技术工艺和设备方案。通过专业的技术服务,实现了真正意义上的交钥匙工程。高性能的设备和专业的技术服务是我们成功的基石,亚科电子期待与更多国内外客户的合作。

详细信息

【产品简介】
 
ContourGT-K 三维光学轮廓仪具有完善的表面测量和分析功能,拥有工业的测量性能和灵活性。采用白光干涉技术,超大视野内埃级至毫米级的垂直计量量程,具有业界的垂直分辨率和测量重复性。其直观的用户界面方便用户快速高效的获得材料表面粗糙度、二维 / 三维表面轮廓以及多种高精度数据,广泛应用于 IC 半导体、LED、太阳能电池、薄膜材料、MEMS、精密机械零部件、摩擦磨损等各个领域,满足各种表面测量的实际需求。
 
【主要应用】
 
1、 用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量;
2、 广泛应用于半导体材料表面粗糙度、陶瓷基板的翘曲度、激光刻蚀痕迹、BUMP 三维结构、MEMS 器件关键尺寸、TSV 孔尺寸和精密机械加工部件等领域的测量。
 
【主要参数】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(闭环无拼接)

垂直分辨率

0.1nm

电动样品台移动范围

±150mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动

横向取样间隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )

光学横向分辨率

350nm

台阶测试精度

0.75%

台阶重复性

<0.1% 1σ

倾斜调整

手动样品台调节 ± 6°

垂直扫描速度

47um / 秒,用户可自行设定

转塔调节

手动自动可选

 

分析软件功能

可进行两维和三维分析,多区域自动分析可对目标区域进行统计编号,可自动分析目标区域内高度或深度分布情况),可分析表面粗糙度,可分析样品表面缺陷及台阶高度, 并可对多次测量数据进行统计,得到详细的统计报告含平均值,方差,最小值,值等。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像,二维剖面图, 以及大量完整的表面粗糙度参数。

 

 

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