DVIA-MB基本主动隔振平台

DVIA-MB基本主动隔振平台

DVIA-MB SEM＆TEM的最终活性基础

专为电子显微镜而设计

我们专门为扫描电子显微镜和透射电子显微镜设计了DVIA-MB; DVIA-MB是最终的主动振动隔离基础平台，通过主动降低低频范围内的振动，协助电子显微镜获得生物和非生物样品的高分辨率图像。 此外，DVIA-MB适合所有市场上的商业电子显微镜。

的主动隔振器

DVIA-MB由四个主动隔振器组成，DVIA-M隔离器内置空气弹簧元件和主动隔离系统。 惯性传感器和电磁执行器安装在这些主动隔振器中，有效地降低了低频振动，同时被动隔离（空气弹簧）支持大量有效负载，并为高频振动提供隔振。

具有高分辨率的纳米成像

如上图所示，当低频振动干扰电子显微镜时，使用DVIA-MB降低这些振动至关重要，以便获得纳米级分辨率图像。

的隔振性能

主动隔离系统的谐振频率比无源隔离系统低得多。 如上图所示，主动系统在1-10Hz范围内的振动控制非常出色，被动系统放大低频振动而不是过滤振动。 DVIA-MB在精密仪器趋于不稳定和破坏性的低频振动中隔离超精密仪器非常有效。 主动振动隔离开始于0.5 Hz，DVIA-MB在2 Hz时达到90％，在10 Hz时达到99％。

反馈和前馈算法

DVIA-MB使用反馈控制系统连续检测干扰隔离有效负载基座的振动，并即时作出反应，以实时最小化振动。 DVIA-MB采用前馈系统，以预定义的方式滤除地面振动。

控制所有六个自由度的振动

安装在主动隔振系统中的惯性传感器和VCM执行器通过三个平移运动（X，Y和Z）以及三个旋转运动（俯仰，滚转和偏航）来检测和控制振动。

每个安装地点都有不同的振动级别，表明每个安装地点都需要调整。 因此，我们提供现场调试，以有效地利用反馈和前馈控制系统，这是控制1-10 Hz范围振动的关键因素。 没有调整，主动隔离系统不能提供的主动隔离性能。

应用：扫描电子显微镜、透射电子显微镜

产品规格