某电子厂超纯水处理工程项目实例

项目背景：根据业主提供资料，该项目所需超纯水装置产水量按5m3/h设计，出水指标达到电阻率≥17.5MΩ•cm。

进水水质：采用园区的自来水，符合生活饮用水水质指标。

二级RO流量：5.5m3/h（水温25℃）

DI流量：5m3/h

出水水质要求：终端出水水质要求见下表：

处理工艺：根据该公司对水质的要求，我们经过详细的比较采用了反渗透的工艺。反渗透技术、高的分离技术。其原理是在高于溶液渗透压的压力下，借助于只允许水分子透过的反渗透膜的选择截留作用，将溶液中的溶质与溶剂分离，从而达到纯净水的目的。

预处理部分：预处理主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、有机物和余氯等妨碍后续反渗透运行的杂质，使得反渗透装置的入口水质符合卷式复合膜进水水质的要求（浊度<1NTU、余氯<0.1ppm、SDI<5）。处理工艺采用絮凝、石英砂过滤、活性炭吸附、软化和保安过滤。预处理设备包括原水泵、砂滤器、活性炭过滤器、软化器、计量加药系统等。

RO系统：RO处理主要是除盐，把含盐水加压通过RO膜把水分子与盐分子分离。本系统设计二级RO装置。一级RO装置产水9m3/h。采用美国陶氏公司的8英寸的抗污染RO膜。膜数量：9只/套；排列方式：(2:1)×3，单级两段；水回收率：70%，此整机脱盐率：≥97%。二级RO装置产水6m3/h。采用美国陶氏公司的8英寸的抗污染RO膜。膜数量：6只/套；排列方式：(1:1)×3，单级两段；水回收率：82%，此整机脱盐率：≥97%。

DI系统：主要目的是去除离子。

工程图片