CF高真空内焊法兰

CF法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号和尺寸见表1。

　　CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L)，因为SUS304放出气体少，加工和焊接比较容易。

CF法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号和尺寸见表1。

CF高真空内焊法兰　

CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形，所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀，会使对角位置的法兰翘起，以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓10