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钨灯丝扫描电镜 VEGA3 GM
- 型号
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详细信息
分析潜力
- GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
- 多于20个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）
- YAG闪烁器式探头
- 可选各种探头和配件
- 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
- 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）
- 可选样品室减振方式
- 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。
标配：
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
根据实际配置和需求
配件：
二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）
可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台
等，各种配件可供选择
