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硅片厚度测试仪 SIT-200
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北京波威科技有限公司坐落于北京海淀中关村高科技园区，是一家集生产、研发、销售及代理为一体的光电领域的高科技技术服务公司。 产品涉及激光、光电子、光通讯、光学、物理、电子和生物等多个学科领域，可广泛应用于教学、科研、产品开发及规模生产。业务范围覆盖了国内各大所属各研究所、航天科工/科技集团所属研究所、中电集团所属研究所、所属各研究所等不同系统内的研究机构及相关领域内的高科技公司。 波威公司始终坚持高起点，高要求，与一线生产厂商携手，做到产品在技术上秉承严谨的科学态度，务实的工作作风，诚实的经营理念，与广大客户携手共创美好明天! 我们的产品有：固体激光器、半导体激光器、可调谐激光器、光纤激光器、窄线宽激光器、激光测量仪器与配件、太赫兹、高速光电探测器、紫外探测器、红外探测器、超快探测器、焦平面阵列探测器、科学相机、光谱仪、高光谱成像系统、光束质量分析仪、空间光调制器、声光调制器、电光调制器、高速光开关、光发大器、光衰减器、可调谐滤波器、波长转换器、高温光纤、红外光纤、能量光纤、微波放大器、微波元器件、光学透镜等光电类产品。
详细信息
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产品介绍：
波威代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速扫频可调谐激光探测硅片厚度的硅片厚度测试仪。 基于高速波长扫描的激光器可以实现每波长更高功率的测量，从而实现高动态范围，甚至在未抛光的晶片上也可以进行厚度测量，例如在湿法蚀刻期间/之后。硅晶片厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源，聚焦传感器和光接收器（PD）构成。 波长扫描光聚焦在目标上，并且在通过传感器之后由PD检测由目标表面和背面的反射形成的干涉图案。
产品特点：
l 用于硅晶圆的全光学，非接触式厚度传感器
l 高动态范围，能够测量无序表面
l 能够在湿法蚀刻期间进行原位测量
产品应用：
l 硅片厚度测量
产品参数：
主要技术指标 | 硅片厚度测试传感器（SIT-200） | |
SIT-200 | ||
测试功能 | - | 硅片厚度 |
厚度测试范围 | um | 10~500（n=3.5） |
激光器 | nm | 波长扫描激光器，1515nm-1585nm |
光输出功率 | mW | 0.6（Class 1） |
引导光源（基准光源） | - | RED LD，Laser class 1M |
测试时间 | ms | ≥20 |
重复率 | um | ＜0.1（3σ） |
监控输出 | - | 干扰信号（电信号） |
程控接口 | - | Ethernet（网口） |
电源 | - | AC100-240V（50/60Hz） |
尺寸（WxHxD） | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
其他说明 | 更多产品信息，请联系北京波威科技的销售人员确认！ | |
