介质要求：

洁净干燥无腐蚀性气体

介质种类：

空气、氮气、氩气、二氧化碳

氦气、氢气、甲烷、氧气等

量程：

0...50/100/500/1000 SCCM(每分钟标准毫升)

0...5/20 SLM(每分钟标准升)

精度：

1.0% F.S

1.5% F.S.

分辨率：

*低 0.01SCCM(每分钟标准毫升)

响应时间：

≤1S

环境条件

介质温度：

0...50℃

工作温度：

-20...70℃

工作湿度：

10%...90%RH（无结冰，无凝露）

工作压力：

0...10bar

储存温度：

-20...85℃

电气参数

供电电压：

DC24V

功耗：

2.4W

启动时间：

<1S

预热时间：

<10mS

模拟信号（电流、电压）

接口类型：

D-SUB 9 针

电压信号：

0...5V & 1...5V

电流信号：

4...20mA

数字信号（RS485）

接口类型：

RJ45和D-SUB 9 针

通信速率：

4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,

115200,28000,230400,256000,460800,500000 （可

通过指令或者上位机修改）

协议：

RS485（默认 Modbus-RTU协议）

设备地址：

1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)

*大节点数：

250

机械参数

接头类型：

卡套：8mm、12mm

快插：6mm，8mm

协议定制

主体材质：

接液底座：阳极氧化铝合金

不锈钢1.4301(不锈钢304)

不锈钢1.4435(不锈钢316L)

外壳：碳钢

密封材质：

FKM 氟橡胶

重量：

铝：≈0.75kg

不锈钢：≈1.5kg