详细参数:
电子光学系统
电子枪:K型预对中钨灯丝阴极(原装日本进口,寿命可达250小时)分辨率:二次电子像分辨率优于3.0nm@30kV加速电压范围:0-30kV,步进式连续可调(0~10kV步进量为100V,10kV~30kV步进量为1kV)放大倍数范围:16X-600,000X(可定制)透镜系统 三级电磁透镜系统:双级可变聚焦电磁聚光镜,高性能锥形电磁物镜三个物镜光阑,在真空外可调,X/Y方向微调;无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑真空系统真空系统:1台磁悬浮涡轮分子泵,1台机械泵组成的机组全自动真空控制,具有真空互锁功能样品室及样品台(可定制):五轴样品台样品台行程: X:0-80mm;Y:0-60mm;Z:0-50mm;R:360°连续;T:-5°-﹢95° 载入样品:φ175mm ,高度:60mm;观测范围:60mm样品台具有接触报警与自停功能探测器: 二次电子探测器背散射电子探测器样品室红外CCD相机
成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像
可选配能谱仪