02专项产品简介

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02专项产品简介

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中船重工集团第七一八研究所

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该企业相似产品

VOC催化剂、脱氨催化剂、颗粒催化剂、SCR脱硝催化剂、除乙烯催化剂、除臭氧催化剂、

  七一八研究所隶属于世界500强*有限公司,创立于1966年,总部位于河北省邯郸市,是集军民产业的科研开发、设计生产、技术服务于一体的科研单位。全所现有职工近2000人,其中科技人员870多人,享受国家特贴30人,研究员84人,高级工程师390多人,硕士研究生导师35人,具有博士、硕士学位的科技人员420多人。
       建所以来,为用户提供了500多种*可靠的装备及产品,陆续建立了中国船舶工业化学物质检测中心、中国船舶工业化学计量测试检定站,建立了博士后科研工作站和船舶与海洋结构物设计制造、应用化学、环境工程等专业硕士研究生培养点,拥有高能化学工程、电解水制氢、气体净化、分析检测等现代化实验室,并装备了气相色谱/质谱联用仪、液相色谱/质谱联用仪、能谱仪、X射线衍射仪、原子发射光谱仪、原子吸收光谱仪等大型科研试验设备580多台(套)。
       持有国家环保部颁发的环境影响评价证书和*颁发的民用核安全电气设备设计/制造许可证,具备压力容器设计和制造资格,通过了质量、环境、职业健康安全管理体系认证,是国家火炬计划邯郸新材料产业基地、国家科技兴贸新材料创新基地、国家新型工业化军民结合产业示范基地的骨干企业。
       七一八所不断加强技术创新,大力发展*产业,建所获得省部级以上科技进步奖260多项,其中国家科技进步一等奖2项,*近300项。按照军民融合的发展要求,大力发展高科技产业,已形成电子特气材料、精细化工、空气净化、氢能产业、核电装备、节能环保、安防信息工程及特种装备等8大产业方向。
       面向未来,以中船集团建设船舶行业“以军为本、军民融合、产融一体的创新型企业”战略为指导,以行业发展争做*为己任,勇于担当,志在超越,加快技术创新、组织创新、模式创新及体制机制创新,加快相关生产能力建设,将718所建成军民融合度高、持续创新能力强、产业发展质量优的*集团。

详细信息

“02专项”产品简介
    中船重工第七一八研究所 (简称PERIC)与南大光电、光明院等5家协作单位申请的“02”国家科技重大专项--高纯电子气体研发与产业化项目,已于2013年初获得国家立项并得到国家财政支持。“02专项”全称为极大规模集成电路制造装备及成套工艺,是由专项实施管理办公室组织,属于重点项目。该项目旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套*工艺及相关新材料技术,打破我国集成电路制造装备与工艺*依赖进口的状况,带动相关产业的技术提升和结构调整。此项目中,718所共承担NF3、WF6、SiF4、C2F6、C4F8、C3F8、HF、HCl、COF2及电子混合气体等19种气体的研制及产业化工作。
    NF3及WF6产品目前我所已有成熟的技术及生产经验,并有多年的产业化经验,满足客户的需求。
    COF2产品已完成了研制及小试生产,纯度达到99%以上。
    SiF4、C2F6等产品的研制工作已基本结束,预计于2015年将实现产业化生产,各产品的产业化情况如下:
气体名称纯度产业化规模
SiF4 99.999%50吨/年
C2F6 99.9993%50吨/年
C4F8 99.9993%50吨/年
C3F8 99.9995%30吨/年
HF99.999%10吨/年
HCl99.999%50吨/年

气体应用:
    上述气体主要用于IC制造过程中的外延、离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等关键工艺。
    目前,718所已与无锡华润上华科技有限公司或上海华虹宏力半导体制造有限公司或中芯国际集成电路制造有限公司等签订了测试协议,上述单位将负责该项目中所有气体的测试等工作。
    :销售部 ,0310-7184723

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