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fcon触摸屏式气体混合器CUBE GM-Xα系列
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fcon触摸屏式气体混合器CUBE GM-Xα系列
fcon触摸屏式气体混合器CUBE GM-Xα系列
产品名称 | CUBE GM-Xα系列 |
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尺寸 | CUBEGM-Xα2:W350×D400×H1100(mm)*对于油箱容量10L CUBEGM-Xα3:W430×D400×H1100(mm)*对于油箱容量10L CUBEGM-Xα4:W510×D400×H1100(mm)时容量为10L 注1)高度由罐容量决定。 注 2) 尺寸不包括突出部分。 |
输入电源 | AC100V |
目前的消费 | 约 125VA * 安装 3 个质量流量控制器时 |
流量范围 | 1 行:FS10SCCM ~ 20SLM * 但是,混合气体流量必须为 50SLM 或更少。 |
流量控制 | MFC:C1000系列或FCST1000系列 |
流量设定/输出显示 | 0-5VDC |
入口、出口阀 | 电磁阀 |
外漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa ・ m 3 / sec He |
耐压 | 0.5MPa |
气体接触材料质量 | SUS316、PTFE、氟橡胶或氯丁橡胶 (FCST1000系列:磁性不锈钢、氟橡胶或氯丁橡胶) |
管道连接 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)和其他配件,请联系我们。 |
使用环境 | 温度:5 至 50°C 精度保证范围:15 至 35°C 湿度 30 至 80%(无冷凝) |
配件 | AC 电缆 (2m)、使用说明书 |