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SC200 高精型气体质量流量控制器
陕西易度智能科技有限公司专注于研发制造业过程工艺中的流体微流量控制核心器件,形成以层流元件、精密比例调节阀、压差传感器和软件算法为核心的高精度层流质量流量计和控制器等产品,为半导体、生物制药、新材料、新能源、环保等制造业提供高精度微流量测控核心部件和解决方案。
易度智能的研发团队以西北工业大学数名博士为核心,自主研发十余年,团队在微流量测量、控制等领域拥有深厚的技术积累和创新能力,已获得6项国家发明,具有新颖性。公司积极开展产学研合作,与西北工业大学、西安交通大学等多所高等学府进行深入合作。
易度智能的高精度层流质量流量计和控制器系列产品基于层流压差原理,精度、重复性、响应时间等核心指标与热式流量计相比具有很大优势,依靠研发团队航空宇航专业背景以及十多年的专注研发,完成了层流质量流量计与控制器的批产,成为少数几家拥有自研层流压差式微流量控制仪表并批量应用的企业。
SC200系列高精型气体层流质量流量控制器
——计量级精度的高精型流量控制器
SC200系列高精型气体层流质量流量控制器向对控制精度有更高需求的客户提供计量级的精度等级(±0.5%设定值精度),通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了更高性能。同时,内置4种标况温度(0℃、15℃、20℃、25℃)可供选择,并实时显示温度、压力、标况流量、工况流量。
特征:
l 原理:层流压差式流量计
l 触屏操作:触屏点击输入设定流量,自由切换更改气体介质、调整混合气体比例和修改部分参数信息
l 高精度:±0.5%设定值精度
l 高重复性:±0.1%F.S.
l 宽温度、宽压力适用范围:-20℃~60℃、1Mpa以内
l 实时显示4种过程变量
l 内置43种气体和混气测量
l 无需预热时间
l 可切换为流量计模式使用
使用条件(切换):
l 兼容内置的43种气体和可编辑的混合气体
l 工作流量范围:1%~120%F.S.
l 介质温度:-20℃~60℃
l 环境温度:-20℃~60℃
l 使用湿度:0%~98%(无冷凝)
l 工作压力:1Mpa
l 耐压:1.5Mpa
l 供电电压:﹢(18~30)VDC
l 消耗电流:<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
l 安装方式:任意角度
规格型号:
l PIG-SC201(微流量)
PIG-SC201-00-0500 0.5 SCCM
PIG-SC201-01-0001 1 SCCM
PIG-SC201-01-0002 2 SCCM
PIG-SC201-01-0005 5 SCCM
PIG-SC201-01-0010 10 SCCM
PIG-SC201-01-0020 20 SCCM
l PIG-SC202(小流量)
PIG-SC202-01-0050 50 SCCM
PIG-SC202-01-0100 100 SCCM
PIG-SC202-01-0200 200 SCCM
PIG-SC202-01-0500 500 SCCM
PIG-SC202-01-1000 1000 SCCM
PIG-SC202-01-2000 2000 SCCM
l PIG-SC220(中流量)
PIG-SC220-02-0005 5 SLPM
PIG-SC220-02-0010 10 SLPM
PIG-SC220-02-0020 20 SLPM
PIG-SC220-02-0050 50 SLPM
PIG-SC220-02-0100 100 SLPM
PIG-SC220-02-0200 200 SLPM
l PIG-SC250(大流量)
PIG-SC250-02-0500 500 SLPM
应用场景
l 配套流量校准平台的流量控制设备
l 化学过程实验中的气体流量高精度控制
l 机械动力测试系统中的气体流量高精度控制
l 材料制备实验中的中的气体流量高精度控制
l 真空实验舱及真空试验系统中的气体流量高精度控制
l 生物反应器实验装置中的气体流量高精度控制
l 高精度实验仪器的研发和试制