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主营产品公司介绍
使用等离子的表面处理装置。着重于"使用简单"的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。
特征● 可变更电极构造提高等离子效果。● 搭载高精度适配器,高性能RF 电源。● 可根据需求规格提供定制。
用途● 硅晶圆的灰化及蚀刻● 基板表面污垢处理● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗● 自然氧化膜·有机物去除● 界面活性处理● 表面污染物去除
型号
V1000
V1000X
V1000XS
等离子模式
DP/RIE
高频电源
13.56MHz
输出功率
Max1000W
Max1000 & 1500W
有效电极尺寸
W280×D280mm
W300×D300mm
W400×D375mm
电极
平行平板
2段电极(独立)
平板(多目的)
反应气体
聚合控制器2系统(填充气路另行安装)
真空泵(标配)
约1000L/min
约1500L/min
1000 & 1500L/min
安全装置
门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等
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