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YAMATO等离子清洗机
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产品介绍
YAMATO等离子清洗机,经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗。
特点:
值得期待的应用案例
<清洗>
<表面改质>
<蚀刻>
YAMATO等离子清洗机还可促进种子发芽等实验。
技术参数:
型号 | PM100 |
等离子发生源 | 低频高电压电源,输出约50W,周波数60KHz、输出电压10kV |
电机构造 | 电容型 2分割 |
气体流量计 | 氧气用、流量30~300mL/min |
真空调整阀门 | 抽真空用,回大气用 |
反应腔尺寸 | 内径100mm×深度大约200mm |
外形尺寸(宽×深×高mm) | 310×300×448 |
电源 50/60Hz | AC100V 10A(含真空泵Max7A) |
真空泵接口 | 外径Φ6.35mm(推荐真空泵排气速度30L/min) |
气体接口 | 外径Φ6.35mm |