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ZF-MFC-1C 质量流量控制器-ZF-MFC-1C
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ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器,结构小巧,操作方便,可用于气体流量的精确测量和控制,流量范围0~100,200,300,500SCCM可选,可与本公司管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用,直接数字设定流量,稳定可靠,操作方便。
技术参数
产品名称 | 质量流量控制器-ZF-MFC-1C |
产品特点 | 防腐型单路气体质子流量控制器,结构小巧。 DC15V电压驱动。 流量数显设定显示,稳定可靠,操作方便。 流量范围:0~100,200,300,500 SCCM可选。 配备RS485计算机接口,同时可输出4~20mA信号,用于计算机与远程仪表的连接控制。 标配N2气标定。 |
工作电源 | AC 220V,50/60Hz,7.5W 配备 AC 220V转DC15V电源适配器。 |
流量范围 | 0~100,200,300,500 SCCM四种规格可选,特殊规格可定制 |
材质 | 316不锈钢阀体,耐腐蚀 |
准确度 | ±2%FS |
控制精度 | ±1%FS(恒流) |
线性 | ±2%FS |
工作压力差范围 | 0.1~0.5MPa |
工作压力 | 0.5MPa |
设定流量方式 | 键入式 |
进出口阀门 | Φ6.35mm 卡套式接头
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工作环境温度 | -10~50℃ |
产品尺寸 | 168 L×30 W×132H mm |
产品重量 | 0.92Kg |
质保期 | 一年质保期,终身维护。 |
使用注意事项 | ZF-MFC-1C可用于腐蚀性气体的流量测量与控制,如NH3等。 出厂时采用氮气(N2)标定,如通入其他气体时,需要对照说明书中不同气体流量转换系数进行流量换算。 注意工作差,使用时进出气两端工作压力差在0.15~0.5MPa范围内。
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