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透射电镜原位MEMS液体电化学测量系统
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采用全新的O圈辅助密封设计,更易封装液体。实验中,样品被密封在超薄氮化硅薄膜覆盖的液体池内,池内可以承载一个大气压。芯片电极联通外接电路,从而在电镜中搭建一个液体-电化学测试环境。
性能指标:
● 兼容TEM真空度;
● 液体池间隔层厚度Z小100 nm;
● 液体池内可载入气体或液体,池内可承载1个大气压,池外满足电镜真空要求;
● 电压输出Z大±200 V,Z小分辨率±100 nV;
● 电流测量Z大±1.5 A,Z小分辨率±100 fA;
● 恒压或者恒流模式。
● 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。
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