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薄膜测厚仪ST5000
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测量迅速,操作简单 尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm 重量 400kg 类型 自动的 测量方法 无连接的 测量原理 反射计 特征
非接触式,非破坏方式
优秀的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
CCD相机
防震台
自动调焦 活动范围 300mm x 300mm 测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) 光斑尺寸 40㎛/20㎛,4㎛(option) 测量速度 1~2 sec./site(fitting time) 应用领域 半导体 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe...
电解质 SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,...
平板行业(包括LCD,PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc, NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide...
光学涂层反射膜,Color Filters...
太阳能电池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...)
聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR... 可选项目 Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST) 接物镜旋转器 Quintuple Revolving Nosepiecs 焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls 附带照明 12v 100W Halogen Lamp
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