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进口高真空CVD系统（BTF-1700C-CVD） 实验室臭氧发生机
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详细信息
主要特点
炉体采用硅钼棒加热Z高温度可至1650℃，高真空系统采用进口分子泵机组，一键操作，简洁方便，无噪音，同时配高精度的质量流量计系统。通过标准配件连接，全部采用不锈钢材料，电抛光处理。其广泛应用于荧光粉材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD，石墨烯，硅纳米管，纳米线，等研究领域
技术参数
加热区参数
| 炉管尺寸：Φ 60/80×1000mm(管径可选) 炉管材质：99高纯刚玉管 Z高温度：1700℃ 工作温度：1650℃ 恒温精度：±1℃ 温度均匀性：小于±5℃ 升温速度：0-15℃/分钟自由设定 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 加热区：300mm 恒温区：150mm 外型尺寸：610×440×720mm 标准配件：刚玉管1根，不锈钢密封法兰1套，氟胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头） 端口可按实际使用扩展。 备注：可选配1200℃、1400℃、1600℃、1500℃等不同温区的管式炉。 |
气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa Z大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
高真空系统参数
| 该系统由英国的前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。 进口分子泵组： Edward 干湿：*无油的干式真空泵组 分子泵抽速：61 L/s 前级泵抽速：1.2㎥/h 极限总压：10-7mabr 启动时间：1.5 min 进气口： KF40 冷却方式：空冷 电压：单项，220V 重 量：14.5 Kg 功 率：300 W 泵体体积：250*356*357 mm |
