1. 2000℃伺服控制真空热压炉设备用途

本设备主要供大专院校、科研单位等针对金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛的条件下进行加压加热烧结处理，以便获得高致密度的产品，例如生产高精度氮化硅陶瓷轴承等。

2. 2000℃伺服控制真空热压炉方案图

3. 主要技术参数

3.1 电源：三相 380V 50Hz

3.2 额定功率：15Kw

3.3 最高工作温度：1800℃

3.4 工作区尺寸：80*80（D*H，mm）

3.5 控温区数：一区

3.6 控温方式：钨铼热电偶

3.7 控温精度：±1℃

3.8 冷态极限真空度：6.67*10-3Pa（空炉、冷态、烘烤除气后）

3.9 压升率：4Pa/h

3.10 充气气氛：惰性气体

3.11 充气压力（微正压）：≤0.03MPa

3.12 最大压力：5T（数显、自动调压、自动保压、伺服电动缸）

3.13 压头直径：Ф40 mm

3.14 压力波动：≤±1%，位移精度≥0.01mm

3.15 压力行程：0～80mm（数显）

3.16 压力控制：伺服电动控制（5kw伺服电机控制）

结构及功能说明

5.1 炉门

炉盖采用双层不锈钢（SUS304）水夹层封头结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出接口、观察窗，炉门锁紧装置等。门锁紧采用手轮压紧的方式，可保证设备在微正压下工作。

5.2 炉体

炉体采用双层不锈钢（SUS304）水冷架构，炉体上下分别组焊有上下压头安装座。正面法兰平面上开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、观察窗口、真空抽气口、热电偶安装口，电极安装座等。

5.4 龙门架

龙门架由上、下横梁、双立柱、箱体等组成，作为上下压头支座及炉体支撑。

5.5 加热及隔热系统

加热采用进口高纯石墨板作发热体，纯度高，无挥发，有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡，保温效果好，耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定，便于安装与维护。

温度控制采用一支钨套管钨铼热电偶，同时，在隔热屏外设置一支监控热电偶，监控隔热屏外温度，提高设备的安全使用性能。

5.7 真空系统

真空系统采用二级泵配置，由一台K-150扩散泵，一台VRD-30直连泵、高真空挡板阀、充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等组成，真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动，真空度的测量由成都睿宝数显复合真空计执行。

5.8 伺服电动加压系统

加压方式采用最新的伺服电动加压方式，采用进口伺服电动加压系统（伺服电动缸），由伺服电机、减速机，电动压力缸，精密压力传感器、器件组成，通过触摸屏设定压力，自动调节压力，并能实现稳压、保压压力曲线可实时显示。伺服电机自带编码器，位移可精确控制并显示.压力工艺可储存，可调用、可编辑。