MC系列气体质量流量控制器

首页>仪表大类>流量计>质量流量计

MC系列气体质量流量控制器

型号
美国艾里卡特科技有限公司

免费会员 

生产厂家

该企业相似产品

选择COMPOSER气体混合校准固件

在线询价

MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器

在线询价

LC系列液体流量控制器

在线询价

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器

在线询价

MCW系列低压损气体质量流量控制器

在线询价

FP-25大气采样流量校准仪

在线询价

MWB系列便携式低压损气体质量流量计

在线询价
质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

美国艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美国成立,是杰出的质量流量和压力解决方案厂商,隶属于英国豪迈(Halma)集团环境与分析事业部,荣膺“年度子公司奖”、“业务拓展增长奖”和“豪迈创新奖”。

Alicat产品采用层流差压式原理,拥有LFE技术,凭借航天级水准,*支持美国*(NASA)、SpaceX火箭项目,并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。

产品类型:气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

客户行业:实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体以及相关的公共事业。

应用领域:计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。

商务电话:+86-21-60407398-801 / +86-21-60167680

详细信息

性能

  • 可用量程:0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)

包装清单

  • MC系列气体质量流量控制器(电源需另行订购)
  • NIST可溯源校准证书
  • 艾里卡特操作说明书

配件(需另行订购)

  • 过程端口接头和过滤器
  • 电源
  • 通讯线缆和转换线缆
  • BB3和BB9多点式集线盒
  • Flow Vision软件

型号变体

  • 低压损型号,最多60 psia(MCW系列)
  • 高压型号,160-320 psia(MCQ系列)
  • 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
  • 配备气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
  • 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持性能。

  • MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCP系列—选配孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
  • MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCS系列)

MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

  • 流量累加器
  • 集成式电位计控制
  • 高精度或自定义校准

艾里卡特MC系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小流量,适用于非腐蚀性气体。

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D

艾里卡特MCP系列气体质量流量控制器采用孔径的小型阀门,适用于非腐蚀性气体。

MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列气体质量流量控制器将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门,适用于非腐蚀性气体。

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D

MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D

艾里卡特MCR系列气体质量流量控制器采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制,适用于非腐蚀性气体。

MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列气体质量流量控制器采用小型比例阀门控制较小的流量,适用于腐蚀性气体。

MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D

艾里卡特MCHS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,将两个阀门并排成对,用作一个阀门,实现对高压应用的更强大控制。

MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D

艾里卡特MCRS系列气体质量流量控制器适用于腐蚀性气体,采用几乎无摩擦的Rolamite阀门,可选用各种孔径,实现对较大流量的控制。

MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR

气体喷射控制pH

在跨度极宽的量程范围内迅速调整并控制质量流量以符合不断变化的应用需要。根据PLC或PC的数字反馈,实时更改流量设定值,保持气体质量流量控制器过程工艺条件。

 

自定义气体混合系统

艾里卡特的质量流量控制器非常适用于构建自定义气体混合系统;在这种类型应用中,可充分发挥气体质量流量控制器固有的灵活性和适应性。

 

高温质量流量控制

艾里卡特的远程电子器件选项将电子器件与传感器和气体质量流量控制器主体部分分隔开来。这允许流动的高温气体通过气体质量流量控制器的主体部分,且不会使控制器电子器件超出其设计温度。

 

同类产品推荐

相关分类导航

产品参数

在线询价 在线询价
当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :