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高纯电子混合气和超纯气体
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国家科技重大专项02专项—“高纯电子气体研发和产业化”课题。目前产品已研制成功研制出10种电子混合气体，各项指标达到用户技术要求，形成每年10000瓶以上电子混合气供货和气体配送能力，满足极大规模集成电路的要求。
电子混合气技术指标如下：
电子混合气技术指标如下：
混合气体 | 指标 |
0.52%N2/He | 6N/6N |
1% O2/Ar | 6N/6N |
10% CH4/Ar | 6N/6N |
5% H2/He | 6N/6N |
4% H2/N2 | 6N/6N |
0.5% O2/He | 6N/6N |
1.25% Kr/Ne | 6N/6N |
1.2% He/N2 | 6N/6N |
3.5% Ar/10ppmXe/Ne | 6N/6N/6N |
30% O2/He | 6N/6N |
1.0%F2/1.25%Kr/Ne |
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1.0%F2/3.5%Ar/Ne |
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10%F2/N2 |
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超高纯气体（6N）：N2、O2、H2、He、Ne 、Ar、CH4。
气体品种 | 纯度 | 容器规格（L） | 充装压力（MPa） |
He | 6N | 40/47 | 13.5 |
Ar | 6N | 40/47 | 13.5 |
Ne | 6N | 40/47 | 13.5 |
H2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
N2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
O2 | 6N | 40/47 | 13.5 |
Kr | 6N | 40/47 | 13.5 |
Xe | 6N | 40/47 | 13.5 |
高纯气体：He、Ar、H2、N2、O2、CO2、CH4
气体品种 | 纯度 | 容器规格（L） | 充装压力（MPa） |
He | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
Ar | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
H2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
N2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
O2 | ≥99.999% | 40 | 13.5 |
CO2 | ≥99.999% | 40 | 15kg |
CH4 | ≥99.99% | 40 | 13.5 |
