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ET20 刻蚀机
- 型号
- ET20
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详细信息
刻蚀机
刻蚀机是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2012年5月14日启用。
产品介绍
适合于8英寸及以下晶圆的单片刻蚀工艺
可选耐腐蚀PP柜体
可按客户需求定制设备规格
全自动摆臂、可配备多路刻蚀液
触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态
可选蚀刻液加热控温及FFU功能
专用排风、排废系统、提高设备的安全性
产品参数
旋转速度范围：0-3000rpm
加速度范围：20-5000rpm/s
转速精度：±1rpm
刻蚀管路：≤2路(扇形或锥形喷嘴）
设备尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
