等离子体内部产生富含*化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭、有机废气，设备占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的恶臭、有机废气分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。但一次性投资费用较高。

低温等离子体净化工业废气的工作原理

等离子体中能量的传递大致如下：

介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含*化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO₂和H₂O等物质，从而达到净化废气的目的。

从以上反应过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去，那些获得能量的污染物分子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。

另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

目前除臭技术中的臭氧氧化法由于氧化势能较低，对复杂的废气基本不起作用，同时臭氧只有氧化作用，对分子结构不能产生破坏性的作用，而等离子体几乎能将所有废气成分从分子结构上直接破坏，裂解，氧化及相互反应，最终形成稳定的分子，如CO₂和H₂O等。特种光量子技术是近几年较常见的技术之一，原理是利用恶臭物质对光子的吸收而发生分解，同时反应过程产生的微量的羟基自由基、活性氧等基团也能参与氧化反应，从而达到降解恶臭物质的目的，对于臭气浓度比较高，成分复杂，不能吸收光子的物质几乎没有效果，然而等离子体对废气成分没有选择性，而且能量*，几乎所有的污染物分子都能从分子结构上被破坏，从而得到净化。另外一种常见的除臭技术是催化氧化，原理是在一定温度和压力条件下，利用催化剂加快强氧化剂对污染物分子的氧化，从而达到除臭目的，这种方法适用于较为干净（无颗粒物，颗粒物存在会附着在催化剂表面使催化剂中毒而失效）和分子结构较为简单的污染物的净化。

低温等离子体技术特点

1)介质阻挡放电产生的低温等离子体中，粒子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。

2)能量高，反应快。

3)采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。

4)只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。

5)设备启动、停止十分迅速，随用随开。

6)气阻小，工艺成熟。

7)同样适用于含尘气体。

8)适用温度范围广。

9)适用气量范围广，单台设备可达到80000m³/h的处理量。