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CVD化学气相沉积系统
郑州铂晶实验仪器有限公司有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产、制造、销售、服务于一体的*。 公司产品涵盖箱式炉、高温管式炉、气氛炉、箱式马弗炉、CVD系统、PECVD设备、牙科炉、升降炉、真空炉、定制炉型等,广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、新能源材料研发、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。多年来公司坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品品质和完善技术服务,凭借过硬的技术、丰富的实践积累,先后研发出了一系列具有*水准的实验电炉和工业炉。 铂晶实验仪器拥有完整、科学的质量管理体系,标准化的生产制造车间,具有年产1000台电炉生产制造能力,生产规模位居*,是国内具有影响力的实验电炉、工业炉生产制造商。 铂晶实验仪器秉承“以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新”的经营理念,全力打造高温加热设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
产品介绍:
该款CVD系统, 采用开启式结构单温区,加热元件为电阻丝(1200℃以下使用)。
CVD管式炉由供气系统、加热系统、真空系统等组成;
1)加热系统可以分单温区、双温区、三温区、多温区等;
2)真空系统可分为低真空和高真空,极限真空可以达到10-4Pa(分子泵组);
3)供气系统是流量调节用户可选质量流量计或浮子流量计,混气路数用户可选2路、3路、4路、5路、6路等相混合(主要根据客户工艺要求定制);
炉底(可选)配安装一对滑轨,可用手滑动(主要适用于1200℃以下加装滑轨)。可以达到快速升降温的目的,为取得加热速率,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品区。可在样品加热后移动炉子到另一端,实现快速降温功能。
产品用途:
应用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。
产品功能及特点:
1、 1200℃炉盖可打开,可以随时观察加热的物料,并能迅速降温,满足材料急冷急热的实验需要;
2、 炉膛采用*真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维制成,保温效果好,耐用节能,反射率高、温场均衡,等特点;
3、1)、加热元件采用高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2,发热温度可达1200℃;
4、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性。
5、炉管采用高纯石英管高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小,能承受急冷急热的温度。
6、采用KF快速法兰密封,仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能;减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能。
7、预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空系统、混气系统使用;
8、我司可预留485转换接口,可通过我部的软件,与计算机互联,可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能;可安装无纸记录装置,实现数据的存储、输出;
9、加热采用上盖开启式,超温和断偶保护警报并断电,漏电保护,操作安全可靠。